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-MOCVD晶圓倒片上下料
-GBT-P7A-700 （了解更多）
-兩臺四軸機器人和一臺六軸機器人銜接前道設備對加工完成的晶圓和未加工的晶圓進行一個上下料的工藝。
-減少成本，提高產能和效率
-保證節約人力成本，生產穩定性
-機器人通過國家潔凈等級的認證，可在無塵環境中使用。
-機器人配備高速I/O, 實現對圓晶Mapping檢測
-高穩定性保證取放晶圓和料盤無擦碰
-晶圓定位精度：±0.05mm、±0.1°
-上下片節拍：425pcs/h
-機器人重復定位精度高（重復定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無碰傷
-高速搬運無抖動，可實現晶圓高速上下料 -良品率：≥99.9%
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